xd激光干涉儀
XD激光干涉儀
1D激光主要可以測(cè)量定位誤差和重復(fù)定位精度
3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）
5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
在選擇無線遙控傳感器的情況下，長(zhǎng)的測(cè)量距離可到45米（80米可選）。
可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架。集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間
5D/6D激光干涉儀是API的**產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測(cè)試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。
測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響，測(cè)量?jī)x還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到小。
概述
5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測(cè)試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。
該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄***長(zhǎng)度位移。第二束光用作直線度測(cè)量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測(cè)得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源，用來測(cè)量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。
為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測(cè)量?jī)x在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測(cè)量?jī)x的橫向和角度漂移量都降低到很小，從而保證測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響，測(cè)量?jī)x還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到非常小。
主要特點(diǎn)
1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器很長(zhǎng)的控制距離可到25米
4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性
5. 全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間
5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：
1. 線性：0.5ppm
2. 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
4. 范圍：800角秒
5. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒
6. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
7. 范圍：500um
8. 垂直度精度：1角秒
9. 溫度：0.2攝氏度
10.濕度：5%
11.壓力：1mmHg
5D/6D精密型：
1. 線性：0.2ppm
2. 測(cè)量范圍：25米
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值
4. 范圍：400角秒
5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒
6. 直線度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值
7. 范圍：300um
8. 垂直度精度：0.5角秒
9. 溫度：0.1攝氏度
10.濕度：3%
11.壓力：0.3mmHg
5D/6D高精密型：
1. 線性：0.2ppm
2. 測(cè)量范圍：根據(jù)用戶要求而定
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒
4. 范圍：500角秒
5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒
6. 直線度精度：（0.2+0.05/m）um
7. 范圍：100um
8. 垂直度精度：0.5角秒
9. 溫度：0.1攝氏度
10.濕度：3%
11.壓力：0.3mmHg
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美國(guó)API
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